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产品标题:HMPQP/HMPZP 光学样板
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元件耗材 >> 光学基片 >> HMPQP/HMPZP 光学样板  

  • 光学样板是人造熔融石英材质的光学平板之一,被用作平面元件的平面度测量时的标准平面。也被称为牛顿样板。
  • 把被测件放在光学平板上就会出现牛顿环,根据牛顿环的数量和形状,检验和测量被测件的面精度。牛顿环是两个表面间的间隙引起的干涉条纹。一个间隔相当于测量波长的一半。(牛顿环法)
  • 每个光学样板都被放置在一个保护木合内,并附有实测的干涉条纹照片和表面形状数据。

        注意

        • 采用牛顿环方法测量时,由于和光学样板接触,所以存在擦伤被测件表面的可能。
        • 西格玛光机的光学样板标准和JIS规格不一样。
        • 在光学样板的侧面,有一个箭头指示正面。
        • 关于材料,请向本公司营业部咨询。
        材料 SFS(人造熔融石英)
        ZD(ZERODUR®)或 CCZ(CLEARCERAM®-Z)
        面精度测量用波长 632.8nm
        面精度测量法 Zygo 激光干涉仪
        有效通光孔径 实际尺寸的95%
        平行度 ≤3分
        反面 简易抛光
        表面质量 20 - 10
         
        D
        [mm]
        t
        [mm]
        材料 反射面精度 面精度
        [μm]
        PV值 平行度 型号 数量
        ø30 10 SQ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPQP-30C10-6
        ø30 10 SQ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPQP-30C10-12
        ø30 10 SQ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPQP-30C10-20
        ø40 10 SQ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPQP-40C10-6
        ø40 10 SQ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPQP-40C10-12
        ø40 10 SQ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPQP-40C10-20
        ø50 10 SQ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPQP-50C10-6
        ø50 10 SQ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPQP-50C10-12
        ø50 10 SQ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPQP-50C10-20
        ø60 12 SQ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPQP-60C12-6
        ø60 12 SQ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPQP-60C12-12
        ø60 12 SQ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPQP-60C12-20
        ø80 15 SQ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPQP-80C15-6
        ø80 15 SQ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPQP-80C15-12
        ø80 15 SQ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPQP-80C15-20
        ø100 20 SQ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPQP-100C20-6
        ø100 20 SQ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPQP-100C20-12
        ø100 20 SQ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPQP-100C20-20
        ø100 17 ZD/CCZ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPZP-100C17-6
        ø100 17 ZD/CCZ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPZP-100C17-12
        ø100 17 ZD/CCZ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPZP-100C17-20
        ø130 25 SQ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPQP-130C25-6
        ø130 25 SQ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPQP-130C25-12
        ø130 25 SQ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPQP-130C25-20
        ø130 20 ZD/CCZ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPZP-130C20-6
        ø130 20 ZD/CCZ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPZP-130C20-12
        ø130 20 ZD/CCZ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPZP-130C20-20
        ø150 30 SQ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPQP-150C30-6
        ø150 30 SQ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPQP-150C30-12
        ø150 30 SQ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPQP-150C30-20
        ø150 25 ZD/CCZ λ/6 0.1 0.17 ≤3分 HMPZP-150C25-6
        ø150 25 ZD/CCZ λ/12 0.05 0.08 ≤3分 HMPZP-150C25-12
        ø150 25 ZD/CCZ λ/20 0.032 0.05 ≤3分 HMPZP-150C25-20

        点击数:3644  录入时间:2009/8/17 【打印此页】 【返回
         
         
         

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