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产品标题:超高精度激光干涉仪
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光电测量产品 >> 干涉仪 >> 超高精度激光干涉仪  

D7λ/1000超高精度激光干涉仪,设计紧凑、用户界面友好0.6nm极好的测量度。非常好地测量高精密光学系统复杂的表面形状、大尺寸非球面偏差;揭示起源于制造技术的面形特征和缺陷。这对于建造精密的高端卫星相机、高分辨望远镜、强大的微芯片,乃至超快计算机都是不可或缺的重要手段。

 

 

主要特点

D7型激光干涉仪提供0.6nm的测试准确度和极好的重复性(世界纪录)

RMS重复性< 0.06 nm (λ/10500)

检测球面、平面、非球面及自由形体

测量光学系统的透射波阵面

曲率半径测量

数据获取相移干涉测量法(PSI)

尺寸:490mm x 300mm x 260mm

D7型激光干涉仪:紧凑可靠使用方便

测试过程简便,只需三个步骤:

  1. 把待测的光学系统或部件放在支架上

2. 用软件界面准直调整测试部件

3. 调整干涉条纹并按动测量按钮即可进行测量

 

优点:

优点

好处

理想参考:由于采用物理参考,因而没有传输误差

1. 省时因为无需改变大量参考

2. 节省成本因为无需购买昂贵的参考装置

比标准性能传输的菲索球面干涉仪有超过100倍更高的精度

节省时间和成本:因为不需要中间仪器和附加的方法来提高精度

D7型激光干涉仪比其它激光干涉仪可检验更多的表面特征

由于在安装和光学系统上市之前更好地揭示了制造误差,从而节省了成本

稳定性和坚固性

1. 省时:因为极好的重复性提供准确的测试数据,无需反复地证明测试结果

2. 节省成本:因为D7型激光干涉仪不需要特殊的(工作)环境条件

应用范围宽

节省时间和成本:由于紧凑和简单的设置,可在实验室或工厂(现场)垂直和水平方向使用D7型激光干涉仪

没有可追溯的误差

由于在测量非球面和自由形体时简化的设置,从而节省时间和成本

 

主要技术参数

性能

精度

0.6 nm (λ/1000)

RMS波前重复性

0.23 nm (λ/2800)

数据采集时间

10ms

光学

系统数值孔径(NA)

0.6 (F 0.83)

系统成像数值孔径(NA)

0.55 (F 0.91)

成像变焦系统

软件界面控制4 x光学变焦

成像

具有伪影去除选项的相干(无散射玻璃)

CCD相机

0.5k × 0.5k (可选:1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k,也可按照客户要求)

高分辨率

λ/8000

像素深度(数字化)

12

曝光时间

最少40μs

传感器像素分辨

500×500,直径50mm

聚焦控制

电动及软件界面控制

光学聚焦范围

±2

激光器

激光类型和波长

稳定的He-Ne激光器,波长:632.8nm

激光功率

2mW(更高功率可根据用户的要求提供)

偏振

可调节测试表面性质

相干

100

系统

数据采集

相移干涉测量(PSI)或静态

PSI方法

PZT电子相移

准直范围

±2.5

准直类型

双点

准直十字线

计算机产生

*接受定制解决方案

 

D7型激光干涉仪的应用:

I. 波前质量

投影镜头

望远镜

显微镜

光学镜头

 

II.表面光学质量

球面

平面

角隅稜鏡

非球面

自由形体

 参考光学系统

 

III.曲率半径

把长距离传感器与D7激光干涉仪提供的最高聚焦精度相结合,可获得ppm RoC精度

 

IV. 成像质量

在部署之前验证你的光学系统的分辨能力

点击数:700  录入时间:2018/10/29 【打印此页】 【返回
 
 
 

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