1、可调谐范围跨过紫外区域，可代替193nmArF和KrF248nm的准分子激光器。

2、具有固体激光器的简单可靠性。

3、光谱线宽小于30MHz在基频，在193nm线宽低于25飞米。

4、重复频率:10~30Hz

5、单纵模，输出波长稳定性<300MHz/天

6、M²<1.3

7、易于升级和维护，使用可靠的101PAL模块。

8、革命性的二极管注入种子光（DLIS）技术和ACLS技术

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