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单晶金刚石在功率电子器件中的应用
【 2025-10-22 09:52 】【 浏览 37 】

单晶金刚石被誉为“终极半导体”材料,其在功率电子器件中的应用潜力巨大,有望引发下一代电力电子技术的革命。

单晶金刚石

单晶金刚石的卓越半导体特性

功率电子器件的核心目标是高效地控制、转换电能(高电压、大电流)。其性能主要由半导体材料的几个关键参数决定,而单晶金刚石在这些参数上几乎都达到了理论极限。

极高的击穿电场强度(~10 MV/cm)

这是金刚石最突出的优势之一。其击穿电场强度是硅(Si)的30倍,碳化硅(SiC)的3倍,氮化镓(GaN)的2倍以上。这意味着制造相同耐压等级的器件,金刚石器件的漂移层可以做得非常薄,从而极大降低导通电阻。

极高的载流子迁移率

- 电子迁移率高(~4500 cm²/V·s) 高于硅(1400)和4H-SiC(1000),意味着电子运动速度快,器件开关频率可以极高。

- 空穴迁移率极高(~3800 cm²/V·s) 这是硅(450)的8倍多,使得金刚石P型器件性能极其出色。

极高的热导率(~22 W/cm·K)

这是所有已知材料中最高的,是硅的13倍,铜的5倍。这意味着器件工作时产生的热量可以迅速被导走,避免“热失效”,允许器件在更高功率密度下运行,同时简化散热系统。

极高的本征温度耐受性

理论上,金刚石器件可以在500°C甚至700°C的高温下工作,远高于硅(150°C)和宽禁带材料(SiC/GaN,~300-400°C)。

超宽禁带宽度(5.47 eV)

使其本征载流子浓度极低,意味着在高温下漏电流极小,高温工作稳定性好。

在功率电子器件中的具体应用方向

基于以上特性,单晶金刚石主要被用于制造以下几种关键的功率电子器件:

金刚石肖特基势垒二极管(SBD)​

- 优势:作为最基本的器件,金刚石SBD具有极低的正向压降和几乎为零的反向恢复电流。这对于提高整流效率和开关频率至关重要。

- 应用场景:高频开关电源、功率因数校正(PFC)电路等,可以显著降低开关损耗。

金刚石场效应晶体管(FET)​

- 金属半导体场效应晶体管(MESFET):这是目前研究较多且较为成熟的金刚石三端器件。利用氢终端处理形成P型导电沟道,已实现高性能输出。

- 金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET):这是理想的器件结构,但挑战巨大,主要在于难以制备高质量、高稳定性的金刚石绝缘栅介质层。这是当前研究的重点和难点。

- 氢终端场效应晶体管:一种独特的结构,利用氢终端表面形成的二维空穴气(2DHG)作为沟道,性能优异,但长期稳定性是挑战。  

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