产品中心 · 光束质量分析仪
DataRay的BeamMap2代表了一种完全不同的实时光束分析方法。 它通过允许沿光束行程的多个位置进行测量,扩展了Beam'R2的测量功能。 这种实时狭缝扫描系统在旋转圆盘上的多个z平面中使用XY狭缝对,以同时测量四个不同z位置处的四个光束轮廓。
 产品特点:
· 190至1150 nm,Si探测器
· 650至1800 nm,InGaAs探测器
· 1000至2300或2500 nm,InGaAs(扩展)探测器
· 提供多种平面间距选项
· 光束直径为5µm至4mm
· 端口供电,USB2.0,灵活的3米电缆,没有电源砖
· 0.1µm的采样和分辨率
· 线性和对数X-Y轮廓
· 轮廓缩放和狭缝宽度补偿
· 实时多Z平面扫描狭缝系统
· 实时 XYZ轮廓,焦点位置
· 实时M²、发散、准直、对准
产品参数:
产品参数  | 
  | 
波长  | Si detector: 190 to 1150 nm  | 
扫描光束直径  | Si detector: 5 µm to 4 mm, to 2 µm in Knife-Edge mode*  | 
平面间距(4XYmodels)  | 100 µm: -100, 0, +100, +400 µm  | 
平面间距(3XYKE models)  | 50 µm: -50, 0, +50, 0 µm  | 
束腰直径测量  | Second moment (4s) diameter to ISO 11146; Fitted Gaussian & TopHat  | 
束腰位置测量  | 在 X、Y 和 Z 方向上 ± 20 µm 最佳   | 
测量源  | 连续波;脉冲激光,F µm = [500/(PRR in kHz)]  | 
分辨率精度  | 0.1µm或扫描范围的 0.05%±<2%±= 0.5 µm  | 
M² 测量  | 1 to > 20, ± 5%  | 
发散/准直,指向  | 1 mrad最好  | 
最大功率和辐照度  | 1 W Total & 0.5 mW/µm²  | 
增益范围  | 1,000:1 Switched 4,096:1 ADC range  | 
显示图形  | X-Y-Z Position & Profiles, Zoom x1 to x16  | 
更新率  | ~5 Hz  | 
平均  | 用户可选择运行平均值(1 到 8 个样本)  | 
最低电脑要求  | Windows, 2 GB RAM, USB 2.0/3.0 port  | 
* Knife-Edge mode需要 3XYKE 型号
产品选择:
  | Beam’R2  | BeamMap2  | 
主要特征  | 集成X和Y轮廓  | 实时 XYZθΦ 测量和焦点查找 实时指向、发散和M2 测量  | 
接口  | USB 2.0 Port-powered  | |
CW or Pulsed?  | CW,脉冲最小 PRR(Si 探测器)≈ [500/(激光直径µm)] kHz  | |
波长  | Si:190-1150 nm InGaAs:650-1800 nm Si+InGaAs:190-1800nm Si+InGaAs,extended:190-2500nm  | |
X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ  | N/A  | 是  | 
最佳分辨率  | 0.1 µm  | |
最小光束  | 2 µm (Knife Edge mode)  | |
更新率  | 5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz)  | |
M2 测量  | Yes - with M2DU-BR accessory  | Yes - real-time  | 
定位焦点  | Yes - with M2DU-BR accessory  | Yes - real-time  | 
指向/发散  | Yes - with M2DU-BR accessory  | Yes - real-time  | 
开关增益(选项 dB)  | 32 dB  | |
参数  | 参数值  | BeamMap2  | Beam'R2  | Comments  | 
波长可选范围(nm)  | 190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500  | Yes  | Yes  | Si, InGaAs, Si + InGaAs,  | 
被扫描光束直径  | 2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X)  | Yes  | Yes  | Si + InGaAs, extended  | 
X-Y 轮廓及中心分辨率:  | 0.1 μm 或者 0.05% 的扫描范围  | Yes  | Yes  |    | 
精度:  | ± <2% ± ≤0.5μm  | Yes  | Yes  |    | 
CW or Pulsed  | 连续/脉冲 最小PRR ≈ [500/(激光直径µm)]kHz  | Yes  | Yes  |    | 
光束对准准直  | ± 1 mrad with BeamMap2 ColliMate  | Yes  | -  |    | 
M2 测量  | 1 to >20, ± 5%  | Yes  | -  | Beam Dependent  | 
实时更新  | 5 Hz  | Yes  | Yes  | 4 Z-plane hyperbolic fit  | 
最大功率&辐照度  | 1 W Total & 0.3 mW/μm2  | Yes  | Yes  | Adjustable 2-12 Hz  | 
增益范围:  | 32dB  | Yes  | Yes  | Metallic film on Sapphire slits  | 

 BeamMap2狭缝扫描式光束质量分析仪 
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