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产品详情
本产品是一款电化学式硅烷（SiH₄）气体传感器，可检测 0–20 ppm 的浓度，非常适用于半导体行业中的固定式安全监测设备。
产品特点：
· 测量范围：0–20 ppm（最大过载：40 ppm）
· 输出信号：300 ± 150 nA / ppm
· 响应时间：T90 < 50 秒
· 分辨率：<0.1 ppm（典型）
· 重复性：<±5% 信号
· 长期漂移：每年 <5%
· 工作温度范围：-20℃ 至 +50℃
· 使用寿命 ≥24 个月（空气中）
· 低交叉干扰（对 CO、H₂、NO₂、PH₃ 等）
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